濕電子化學(xué)品下游應(yīng)用領(lǐng)域中的過濾等級
濕電子化學(xué)品下游主要應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體、顯示面板及光伏等,終端場景主要應(yīng)用于電子信息產(chǎn)品,例如智能手機、智能電視、智能汽車、電腦等。濕電子化學(xué)品的三個主要應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Ξa(chǎn)品的等級要求有所不同:
半導(dǎo)體領(lǐng)域:純度要求較高,基本集中在SEMIG3、G4、G5水平,其中分立器件對超凈高純試劑純度的要求要低于集成電路,基本集中在SEMIG2級水平,國內(nèi)企業(yè)的生產(chǎn)技術(shù)能夠滿足大部分的生產(chǎn)需求;8英寸及以下晶圓制程的中低端領(lǐng)域要求達(dá)到 G3、G4 水平,大硅片及12英寸晶圓制程的部分高端領(lǐng)域要求達(dá)到G5等級(一般使用全氟濾芯進(jìn)行過濾)。
平板顯示和LED領(lǐng)域:等級要求為SEMIG2、G3水平,國內(nèi)企業(yè)的生產(chǎn)技術(shù)能夠滿足大部分的生產(chǎn)需求。
光伏太陽能電池領(lǐng)域:一般只需要SEMIG1級水平,是目前國產(chǎn)超凈高純試劑的主要市場。
電子濕化學(xué)品的主要工藝流程包括原料接收、純化、吸收、混配等工藝,制得的成品包裝入包裝桶或槽車中,檢驗合格后入庫。濕電子化學(xué)品對純度和潔凈度要求很高,在生產(chǎn)、檢測、包裝、運輸各環(huán)節(jié)均有嚴(yán)格要求,其中的純化技術(shù)更是關(guān)鍵點,直接影響產(chǎn)品品質(zhì)。
濕電子化學(xué)品品種眾多,產(chǎn)品制備工藝、設(shè)備要求各不相同,需根據(jù)不同品種特性確定工藝路線。提純工藝段主要采用蒸餾、亞沸蒸餾、等溫蒸餾、減壓蒸餾以及升華、化學(xué)處理、氣體吸收等技術(shù),分離金屬雜質(zhì)。采用超微過濾器(PTFE膜)過濾除去顆粒性雜質(zhì)。結(jié)合不同的顆粒、金屬雜質(zhì)、非金屬雜質(zhì)分析測試技術(shù)以達(dá)到相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)的潔凈度。
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